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超精密平台直线电机音圈电机 DD马达磁弹簧光栅磁栅

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ABXY

ABXY-ZT4系列平台是一款具有六自由度的气浮、机械运动平台。专为后道曝光机及晶圆检测、切片、退火等要求严格的半导体工业设计而设计。

◆X、Y采用气浮轴承,运行平稳

◆T轴:任意微转动,用于调平

◆双驱步进轴具有被动减震模块

◆Z轴:快速、精准的对焦运动

项目详情

ABXY(图1)

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