VAL I_PAS

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PAS

超精密平台直线电机音圈电机 DD马达磁弹簧光栅磁栅

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VAL I

◆专为小型、高性能检测应用设计

◆全空气预载气浮导轨

◆分辨率可达0.1nm的直线编码器反馈

◆低噪音无摩擦

◆闭环分辨率可达0.5nm

◆高动态特性

项目详情

VAL I(图1) VAL I(图2)

VAL I(图3)

VAL I(图4)

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