VXTI-XY_PAS

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超精密平台直线电机音圈电机 DD马达磁弹簧光栅磁栅

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VXTI-XY

◆高分辨率(1nm)，高重复定位精度(75nm)和高定位精度(250nm)

◆具有高度集成化的XY直线电机纳米平台

◆具有纳米级性能并且行程较长

◆运动误差小,稳定精度高

◆具有抗蠕变特性

◆直接驱动技术的高动态性能

项目详情

VXTI-XY(图1)

VXTI-XY(图2)

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